Насос представляет собой модификацию со статором привода, вынесенным из вакуумной области, что обеспечивает надежное охлаждение катушек.
Назначение и область применения
Безмасляная откачка вакуумных систем, создание высокого и сверхвысокого вакуума.
Область применения:
- Масс-спектрометрия;
- течеискание;
- ускорители элементарных частиц;
- ядерные исследования;
- производство электровакуумных и полупроводниковых приборов;
- атомная и ракетно-строительная промышленности;
- авиация;
- фармацевтика;
- пищевая промышленность.
Технические характеристики турбомолекулярного насоса ТМН-150/63
| Скорость откачки по азоту, л/с | 150 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 60 |
| Предельное остаточное давление, Па, не более | 1,3х10-6 |
| Степень сжатия | 1х10 6 |
| Максимально-допустимое давление на выходе, до, Па | 10 |
| Номинальная частота вращения ротора, об/мин | 42 000 |
| Время разгона ротора, мин, не более | 3 |
| Уровень звука, дБ, не более | 65 |
| Присоединительные фланцы, мм: | |
| - входной | ISO-K63 |
| - выходной | ISO-KF16 |
| Рабочее положение | любое |
| Охлаждение | воздушное |
| Температурный режим работы, °С * | (+10)÷(+35) |
| Габаритные размеры насоса, мм | 140х153х167 |
| Масса насоса, кг | 4,5 |
* После прогрева с одновременной откачкой до 80 °С в течении 48 часов.
Технические характеристики блока управления МБУ 150-II
| Диапазон устанавливаемой частоты вращения, об/мин | 20 000 – 50 000 |
| Погрешность поддержания установленного значения частоты, %, не более | 1 |
| Дискретность установки частоты вращения, об/мин, не более | 6 |
| Время непрерывной работы, ч | 24 |
| Варианты исполнения | Корпусное, безкорпусное |
| Индикация | Об/мин, температура корпуса насоса, температура катушек, фазовый гол, время разгона |
| Внешний управляющий интерфейс | RS-485, RS-232C |
| Напряжение питания, В | 220±22 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 100 |
| Габаритные размеры, мм | 220х250х80 |
| Масса в корпусном исполнении, кг | 1,7 |
| Масса в безкорпусном исполнении, кг | 0,25 |
