Установка предназначена для контроля герметичности и разбраковки элементов с замкнутой оболочкой
в полупроводниковой, электротехнической и других отраслях промышленности.
Устройство работает
совместно с течеискателем ТИ1-50.
Одной из особенностей установки является возможность управлять ее производительностью и чувствительностью. В «МИКРО-4» имеется 3 режима работы:
- повышенная производительность контроля - 300 испытаний в час с чувствительностью порядка 5*10 -10 м3 Па/с;
- средняя производительность контроля - 200 испытаний в час с чувствительностью порядка 1*10 -10 м3 Па/с;
- прецизионный контроль микросхем с производительностью 120 испытаний в час с чувствительностью порядка 1*10 -11 м3 Па/с.
Принцип работы
Контролю герметичности изделий с замкнутой оболочкой, предшествует этап подготовки изделий к контролю. Подготовка заключается в помещении изделий в камеру опрессовки и выдержке их под избыточным давлением гелия. Гелий накапливается, проникая через дефекты в корпусе изделия. Подготовленные к контролю изделия извлекаются из камеры опрессовки и перемещаются в установку контроля. Гелий, вытекающий из дефектов корпуса, регистрируется течеискателем и по уровню сигнала оценивается значение утечки (т.е. значение не герметичности изделия).
Внимание! Опрессовка изделий перед проведением контроля герметичности должна производиться в изолированном помещении с хорошей вентиляцией. Присутствие избыточного гелия в атмосфере помещения в месте расположения установки может исказить достоверность результатов контроля.
Процесс проверки герметичности изделий производится в следующем порядке:
- в камеру находящуюся на рабочей позиции (перед оператором) производится загрузка испытуемых изделий;
- с рабочей позиции камера перемещается на промежуточную позицию, а на рабочую позицию устанавливается следующая камера для загрузки/выгрузки изделий;
- с промежуточной позиции камера перемещается на позицию вакуумных испытаний.
- с позиции испытаний происходит перемещение в промежуточную позицию
- далее камера перемещается в рабочую позицию и включается индикатор статуса изделия – «БРАК» или «ГОДЕН». Разбраковка изделий прошедших контроль осуществляется вручную.
